מדרגית פתרון פתרון עיבוד מעובד עבור ביצועים גבוהים, גמיש, אלקטרודות שקוף עם רשת Embedded מתכת

המטרה הכוללת של הליך זה היא להשתמש בתהליך ייצור מבוסס פתרון המשלב ליתוגרפיה, תצהיר חשמלי והעברת הטבעה כדי לייצר סרט מוליך בעל ביצועים גבוהים, גמיש ושקוף עם רשת מיקרו מתכת מעוגנת ומשובצת במלואה. רשת זו יכולה לסייע בהתמודדות עם אתגרים מרכזיים העומדים בפני התקנים אלקטרוניים גמישים עתידיים מבוססי רשת מתכת, כגון טיפוגרפיה של משטחים לא-שטוחים, תפוקת ייצור נמוכה ועלות ייצור גבוהה. רשת מתכת משובצת מספקת מספר יתרונות, כגון חלקות עצמית חיונית, יציבות מכנית ומתח בוער גבוה, הידבקות חזקה למצע הגמיש ועמידות בפני לחות, חמצן וכימיקלים.

התהליך שלנו ימקם זאת על ידי ביסוס תצהיר המתכת עם תצהיר חשמלי מבוסס תמיסה, והוא פשוט למרדף אחר תפוקה גבוהה, כמו נפח וייצור בעלות נמוכה. הקבוצה שלי עזרה לקבוצה של ד"ר וונדי לי לבחון את יציבות הממדים של תהליך ייצור רשת מתכת על ידי דפוס רשת מתכת של 400 ננומטר עם מערכת הליתוגרפיה הביתית שלנו. העוזר שלי שיונג דזה הולך להדגים את תהליך דפוס האלומה החשמלית.

כדי להתחיל בייצור EMTE, יש לנקות חתיכה של שלושה סנטימטרים על שלושה סנטימטרים של זכוכית מצופה תחמוצת פח מסוממת בריצוף עם חומר ניקוי נוזלי וצמר גפן. יש לשטוף היטב את מצע הזכוכית במים דה-יונים, ולהסיר עקבות של חומר ניקוי בעזרת ספוגית נוספת. סוניק את זכוכית ה-FTO באיזופרופנול למשך 30 שניות ב-40 קילו-הרץ.

לאחר מכן יבש את הזכוכית הנקייה באוויר דחוס. לאחר מכן, הניחו את זכוכית ה-FTO הנקייה והיבשה בציפוי מסתובב ומרחו 100 מיקרוליטר של התנגדות חיובית לאור. סובב את הזכוכית ב-4,000 סל"ד למשך 60 שניות כדי לייצר סרט בעובי 1.8 מיקרון.

אופים את הכוס המצופה בחום של 100 מעלות צלזיוס למשך 50 שניות. כסו את הזכוכית המצופה במסכה בתבנית רשת, וחשפו את ההתנגדות לאור UV מספיק כדי להשיג שטף קורן של 20 מילי-ג'אול לסנטימטר מרובע. לאחר מכן, טבלו את הזכוכית המצופה במפתח המתאים למשך 50 שניות כדי להסיר את התנגדות האור החשופה.

שוטפים את הדגימה במים נטולי יונים ומייבשים אותה תחת זרם אוויר דחוס. לאחר מכן, הניחו 100 מילוליטר של תמיסת ציפוי נחושת בכוס של 250 מיליליטר. טבלו את הדגימה בתמיסת הציפוי.

וחבר אותו למסוף השלילי של מנגנון תצהיר אלקטרו בעל שתי אלקטרודות. לאחר מכן, חבר מוט מתכת נחושת למסוף החיובי של המנגנון. הפעל זרם קבוע של חמישה מיליאמפר כדי להשיג צפיפות זרם של שלושה מיליאמפר לסנטימטר מרובע למשך 15 דקות, כדי להפקיד שכבה בעובי 1.5 מיקרון של נחושת על הדגימה.

הקרוקינג הוא השלב הקריטי בייצור. צפיפות הזרם וזמן הציפוי משפיעים על המורפולוגיה של רשת המתכת ועל הביצועים הסופיים, ויש לבדוק אותם ולבצע אופטימיזציה עם דגימות משלך. יש לשטוף היטב את הדגימה המצופה במים נטולי יונים, ולייבש אותה תחת זרם אוויר דחוס.

טבלו את הדגימה באצטון למשך חמש דקות כדי להמיס את התנגדות הצילום שנותרה כדי להשאיר רשת מתכת חשופה על גבי משטח הזכוכית FTO. שוטפים ומייבשים את הדגימה במים נטולי יונים ואוויר דחוס. לאחר מכן, הניחו את הדגימה על משטח מכבש הידראולי כשרשת המתכת פונה כלפי מעלה.

מכסים את הדגימה בסרט קופולימר אולפין מחזורי בעובי 100 מיקרון עם טמפרטורת מעבר זכוכית של 78 מעלות צלזיוס. מחממים את הפלטות ל-100 מעלות צלזיוס, ולאחר מכן מפעילים לחץ הטבעה של 15 מיליפסקל על הדגימה למשך חמש דקות. משוך את הפלטות ל-40 מעלות צלזיוס לפני שחרור לחץ ההטבעה.

לחץ וטמפרטורה הם אינטרסים עיקריים חשובים בשלב העברת החותם. ודא שהחותם והלחץ שלך אחידים וגבוהים מספיק להעברה מלאה. הטמפרטורה צריכה להיות גבוהה בכ-20 מעלות מטמפרטורת מעבר הזכוכית של חומר המצע.

קלף בזהירות את סרט הפולימר עם הרשת המוטמעת ממשטח הזכוכית FTO כדי לקבל את ה-EMTE. כדי להתחיל בהכנת EMTE תת-מיקרוני, נקו חתיכת זכוכית FTO בגודל שלושה סנטימטרים על שלושה סנטימטרים עם חומר ניקוי נוזלי ומים נטולי יונים ואחריהם סוניקציה באיזופרופנול. מניחים את זכוכית ה-FTO הנקייה והיבשה בציפוי מסתובב, ומורחים 100 מיקרוליטר של 4% PMMA לפי משקל באנסטולה.

סובב את הזכוכית ב-2500 סל"ד למשך 60 שניות כדי לייצר סרט בעובי 150 ננומטר. אופים את הסרט בחום של 170 מעלות צלזיוס למשך 30 דקות, ואז מפעילים את מערכת הליתוגרפיה של קרן האלקטרונים ומכינים תבנית רשת עם מחולל תבניות. הנח את הדגימה במערכת הליתוגרפיה של קרן האלקטרונים והפעל את תהליך הדפוס.

פתח את ה-PMMA על ידי טבילה בתערובת אחת עד שלוש של מתיל-איזופרופיל-קטון ואיזופרופנול למשך 60 שניות. שוטפים את הדגימה המעוצבת במים נטולי יונים ומייבשים אותה תחת זרם אוויר דחוס. לאחר מכן, הנח את הדגימה המעוצבת בתמיסת ציפוי נחושת וחבר את הדגימה למסוף השלילי של מנגנון אלקטרודפוזיציה של שתי אלקטרודות.

חבר את המסוף החיובי למוט נחושת ומתכת. הפעל זרם קבוע כדי להשיג צפיפות זרם של שלושה מיליאמפר לסנטימטר מרובע למשך שתי דקות כדי לצלוח 200 ננומטר נחושת על הדגימה. שטפו את הדגימה במים נטולי יונים וטבלו את הדגימה באצטון למשך חמש דקות כדי להמיס את ה-PMMA.

לאחר מכן, הניחו את הדגימה על המשטח של מכבש הידראולי. מכסים את הדגימה בסרט קו-פולימר אולפין מחזורי בעובי 100 מיקרון עם טמפרטורת מעבר זכוכית של 78 מעלות צלזיוס. מחממים את הפלטות ל -100 מעלות צלזיוס ומפעילים לחץ הטבעה של 15 מיליפסקל למשך חמש דקות.

יש לקרר את הפלטות ל-40 מעלות צלזיוס לפני שחרור הלחץ. קלף בזהירות את הסרט מזכוכית ה-FTO כדי לקבל את ה-EMTE התת-מיקרוני. כדי להתחיל במדידות התנגדות היריעות, תחילה מורחים כסף על קצוות מנוגדים של ה-EMTE ומניחים למשחה להתייבש.

הנח את ארבעת הבדיקות של מכשיר מדידת התנגדות היריעה על קווי משחת הכסף לפי הוראות יצרן המכשיר. מדוד ורשום את התנגדות הסדין. כדי לבצע מדידות שידור אופטיות, הנח תחילה את ה-EMTE על מחזיק הדגימה של ספקטרופוטומטר UV מכויל המוגדר ל-100% שידור.

יישר את הדגימה בניצב לקורה. רכוש ספקטרום שידור של ה-EMTE כדי להעריך את השקיפות החשמלית. EMTEs נחושת יוצרו עם דפוסי רשת שונים כדי להעריך את השפעת גיאומטריית הרשת על תכונות האלקטרודה.

היחס בין מוליכות חשמלית למוליכות אופטית עבור EMTEs נחושת ב-550 ננומטר היה מעל פי 1.5 פי 10 לרביעי. רשתות עבות יותר תואמות להעברה אופטית נמוכה יותר והתנגדות יריעות. צלילים גדולים יותר התאימו להתנגדות והעברה גדולה יותר של יריעות.

EMTEs יוצרו עם מתכות שונות באמצעות רשת גובה של 50 מיקרון, שכולן הראו ספקטרום שידור שטוח וחסר תכונות. עם אותו קשר בין עובי הרשת להעברה, ניתן לכוונן תחילה את ההעברה והתנגדות היריעה על ידי התאמת הגיאומטריה וההרכב של הרשת. עמידות היריעות של EMTEs נחושת הוערכה ביחס לבדיקות דחיסה וכיפוף מתיחה.

לא נצפה שינוי משמעותי במבחני כיפוף דחיסה של ארבעה מילימטר וחמישה מילימטרים. עמידות היריעות מוגברת בהדרגה באמצעות בדיקות כיפוף מתיחה. לא נצפתה השפלה ועמידות ליריעות במהלך 24 שעות של חשיפה לאיזופרופנול מים או לאווירה חמה ולחה.

תלמידים חדשים יכולים ללמוד טכניקה זו תוך מספר ימים. לאחר השליטה, ניתן לבצע את כל תהליך הייצור תוך שעתיים-שלוש והציוד מוכן. טכניקה זו סוללת את הדרך לשימוש בשיטות ייצור תהליכי פתרון ניתנות להרחבה לפיתוח התקנים מיקרו וננו מובנים חדשים, כגון רשת המיקרו מתכת המעוגנת בעצמה עם יחס גובה-רוחב גבוה, המוטמעת במצע גמיש.

יישומים רבים כגון לוחות מגע, חיישני עקירה ותאים סולאריים יכולים להפיק תועלת מהאלקטרודות השקופות של רשת המתכת המשובצות שלנו בעלות ביצועים עיליים. לאחר צפייה בסרטון זה, אתה אמור להבין היטב כיצד להשתמש בתהליך ייצור מבוסס פתרון זה כדי לייצר נתונים בפועל שקופים ברשת מתכת. תודה שצפיתם, אנחנו פתוחים לשיתופי פעולה.