Fonksiyonel Malzemelerin Nanomoulding, Nanoimprinting bir yönlü Tamamlayıcı Desen Çoğaltma Yöntemi

Bu prosedürün genel amacı, bir deseni rastgele bir ana yapıdan işlevsel bir malzemeye aktarmaktır. Bu video, fonksiyonel bir malzeme modeli transferi olarak çinko oksit kullanılarak yapılan prosedürü, önce ana yapıdan negatif bir kalıp imal edilerek gerçekleştirilir. İkinci adım, önce kalıba bir yapışma önleyici tabaka ekleyerek, ardından çinko oksit biriktirme ile çinko oksit replikasını oluşturmaktır, çinko oksit daha sonra UV ile kürlenmiş bir reçine kullanılarak nihai cam alt tabakaya tutturulur ve son olarak kalıbından serbest bırakılır.

Sonuç olarak, bu teknik kullanılarak tek bir ana kalıptan birden fazla fonksiyonel kopya hazırlanabilirken, başka bir baskı geleneksel olarak bir UV veya termal olarak kürlenebilen bir reçineyi modellemeye hizmet eder. Nano kalıplama, kalıp malzemesinin malzeme biriktirme işlemi ile uyumlu seçilmesi şartıyla, diğer birçok fonksiyonel malzemeye, malzeme yığınına ve hatta komple cihazlara genelleştirilme potansiyeli sunar. Bu yöntem için ilk olarak, piyasada bulunan Nano baskı reçineleri yalıtkan olduğu için şeffaf iletken bir nano baskılı elektrot elde etmenin bir yolunu bulmaya çalıştığımızda aklımıza geldi.

Başka bir yol bulmamız gerekiyordu ve bu yüzden nano kalıplamayı geliştirdik. Genel olarak, bireyler bu yöntemi mücadele ile biliyorlardı çünkü anyon özelliklerinin dikkatli bir şekilde ayarlanması gerekiyordu Aktarılacak nano ölçekli deseni taşıyan bir master hazırlayarak başlayın. Burada üç prefabrike ana yapı gösterilmiştir.

Solda, girişim litografisi kullanılarak yapılmış çizgi ızgaralı plastik bir folyo var. Ortada, anodik oksidasyon ve ardından alüminyum oksit tabakasından aşındırma kullanılarak yapılan dokulu bir alüminyum levha bulunur. Ve sağda, kimyasal buhar biriktirme ile büyütülen cam üzerinde dokulu bir çinko oksit tabakası var.

Çinko oksit numunesi, anti aian tabakasına hazırlık olarak bu gösteride kullanılacaktır. İlk olarak, dokulu master'ı, anti aian ajanın yapışmasını teşvik etmek için beş ila 10 nanometre kalınlığında bir gözcü krom tabakası ile kaplayın. Ardından, bir cam slayt üzerine küçük bir damla anti aian ajan uygulayın.

Cam sürgüyü master ile birlikte bir vakum odasına aktarın ve aşağı doğru pompalayın. Anti aian ajanın buharlaşması ve master üzerine birikmesi için hafif bir vakum yeterlidir. Daha sonra master'ı vakum odasından çıkarın ve Aneel'e anti aian kaplama için bir ila iki saat boyunca 80 santigrat derecede bir fırına koyun.

Bu prosedürün en zor yönü, kontrol soyulmasının mümkün kalmasını garanti ederken, kendiliğinden dökülmeyi önlemek için anti aian tabaka özelliklerini ayarlamaktır. Bunu başarmak için, anti edition katmanının özellikleri ampirik olarak ayarlanır. Daha sonra, bir polietilen naft, alat veya kalem tabakasını ultrasonik aseton banyosunda iki dakika boyunca temizleyerek ve ardından bir ultrasonik izopropanol banyosu yaparak kalıbı hazırlayın.

İki dakika daha, tabakayı banyodan çıkarın ve nitrojenle kurutmadan önce taze izopropanol ile bir kez daha durulayın. Ardından kalem sayfasını gözcü coter'a yerleştirin ve kalem kağıdına beş ila 10 nanometre krom aian tabakası uygulayın. Daha sonra, kalem tabakasını sıkma coter'ına aktarın ve 5.000 RPM'de kalem yaprağı sıkma kaplamasına UV ile kürlenebilen bir reçine olan bir ila iki mililitre mosa ekleyin.

Düzgün bir kapsama alanı elde etmek için, yeni kaplanmış kalem sayfasını 80 santigrat derecede sıcak bir plaka üzerinde beş dakika önceden pişirin. Çözücüyü buharlaştırmak için, film homojenliğini iyileştirin ve kalem yaprağına reçine ilavesini iyileştirin. Ardından kalem sayfasını, UV ile kürlenebilen reçine yukarı bakacak ve ana kısım tutucu kolların üzerine baş aşağı bakacak şekilde nano yazıcının içine yerleştirin.

Nano baskı kurulumunun kapağını yerine takın ve pompayı açarak vakum odasını boşaltın. Master'ı UV ile kürlenebilen reçinenin üzerine bırakmak için tutucu kolları geri çekin. Kalem yaprağında, alt haznedeki vakumu korurken üst bölmeyi havalandırarak vakum odasını ikiye bölen esnek silikon zara baskı uygulayın.

Bu, esnek membranı kurulumun altına doğru iter ve membran üzerindeki basıncı korurken damgalama basıncını sağlar. Çapraz bağlama reaksiyonunu tetiklemek için UV ile kürlenebilen reçineyi kalem yaprağı tarafından 15 ila 20 dakika LED UV ışığına maruz bırakın. Ardından, silikon membran üzerindeki basıncı boşaltmak için vakum odasının alt kısmını boşaltın ve numuneyi çıkarın.

Kalıbı dikkatlice kavrayın ve yavaşça ana yapıdan soyun. Daha sonra kalıbı bir fırına koyun ve reçinenin termal stabilitesini artırmak için üç ila beş saat boyunca 150 santigrat derecede pişirin. Son olarak, daha önce gösterildiği gibi kalıba anyon tabakası uygulandıktan sonra, numune, çinko oksidin kimyasal buhar biriktirmesine başlamak için çinko oksit biriktirmeye hazırdır.

Öncelikle hazırlanan kalem kalıbını bir cam slayt üzerine yerleştirin. Kimyasal buhar biriktirme sırasında bükülmesini önlemek için metal çerçeveyi kalıbın üzerine yerleştirin. Daha sonra, kalıbı ısınırken 155 santigrat derecede tutulan kimyasal buhar biriktirme reaktörünün sıcak plakasına yerleştirin.

Reaktör pompasını 10'un altına eksi üç milibara kadar kapatın ve termalizasyona izin verin. Daha sonra, 10 dakika boyunca doping yapmak için argonda seyreltilmiş az miktarda di boran ile birlikte su ve etal çinkonun öncü gazlarını kabul edin. 0,4 milibarlık bir proses basıncında, iki mikron kalınlığında bir çinko oksit tabakası oluşturur.

Biriktirmeyi takiben, yeni biriken tabakanın aşırı bükülmesini önlemek için kalıbı dikkatlice çıkarın, bu da kendiliğinden soyulmaya neden olabilir. Katman transferine başlamak için, önce cam slaytları asetonla ve ardından izopropanol ile yıkayarak spin kaplama için hazırlayın. Ardından slaytları bir nitrojen akışı ile kurutun.

Bir sonraki döndürme katı, 5.000 RPM'de cam slayt üzerinde bir ila iki mililitre UV ile kürlenebilen reçine, daha önce kalıp imalatı sırasında gösterildiği gibi nano baskı makinesini kullanarak biriken katmanları taşıyan kalıbı nihai alt tabakaya sabitler. Bununla birlikte, master yerine, kalıp tutucu kollara yerleştirilir ve UV ışığı ile kürlenmeden önce reçine kaplı cam alt tabakaya indirilir. Son olarak, aktarılan çinko oksit tabakasını taşıyan kalıbı cam slayttan manuel olarak soyarak aktarımı tamamlayın.

Nano kalıplama, soldaki taramalı elektron mikroskobu görüntüsünde burada gösterilen çinko oksit tabakasının piramit dokusu gibi nano ölçekli özellikleri yeniden üretir. Sağdaki resim, nano kalıplanmış replika atomik kuvvet mikroskobunu göstermektedir veya burada gösterilen yüzeyi, yüzey yüksekliğini temsil eden değişen turuncu yoğunluklarda görüntülemek için bir FM kullanılmaktadır. Bu bilgi, siyah renkte gösterilen kalıp ile kırmızı renkte gösterilen replika arasındaki yükseklik ve açı farklarını ölçmek için kullanılır.

Çinko oksit tabakası için, kalıp ve replika arasında çok az değişiklik vardı ve bu da nano kalıplama işleminin yüksek doğruluğunu gösteriyordu. Solda gösterilen girişim litografisi ile üretilen ızgaranın tek tek çizgileri, sağda gösterilen kopyada da iyi bir şekilde üretilmiştir. Bu desene karşılık gelen yükseltilmiş açı histogramları da çok benzer bir şekil sergiler.

Bununla birlikte, sol altta sağ altta kırmızı ile gösterilen replikada daha düşük açılara doğru hafif bir kayma var, alüminyumun antik oksitlenmesi ile elde edilen bir çukur dizisinin benzersiz özellikleri ve sağdaki eşleşen replika. Bu desen kullanılırken özelliklerde hafif bir yumuşatma bulunur. Bu, sağ altta gösterilen açı histogramındaki kopya için daha düşük açılara doğru hafif bir kayma ile sergilenir.

Anom kalıplama ustası, uygun şekilde yapılırsa birkaç saat içinde yapılabilir. Böylece nano kalıplama, fotovoltaik alanındaki araştırmacıların güneş pillerindeki yeni nano fotonik yapıları keşfetmelerinin yolunu açtı. Bu prosedürleri takiben, diğer fonksiyonel malzemeler patentlenebilir ve geniş bir uygulama yelpazesine kapı açar.

Kimyasallar, gazlar, uv, radyasyon kaynakları ve vakum ekipmanı ile çalışmanın tehlikeli olabileceğini ve uygun kişisel koruyucu ekipman gibi önlemlerin her zaman giyilmesi gerektiğini ve bu prosedürü gerçekleştirmeden önce ekipmanın doğru kurulumunun doğrulanması gerektiğini unutmayın.